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工程案例

半导体设备超净实验室,百级光刻洁净室,千级工艺洁净室

洁净实验室内放置半导体工艺设备,半导体及电子测试与测量设备,

有百级光刻间,千级湿法腐蚀间(排风联动),千级工艺设备间,灰区设置在回风走廊内,准洁净区。


[百级光刻洁净室、光刻机、显微镜]


[千级湿法间、千级湿法腐蚀间、新风排风联动控制、显影-清洗台洁净室、腐蚀台洁净室]


[千级半导体工艺洁净室、磁控溅射洁净室]


[千级半导体洁净室、千级工艺洁净室、磁控溅射洁净室]


[灰区:回风技术夹层、准洁净室、循环水机、空压机、尾气处理准洁净室]


[灰区:回风技术夹层、准洁净区、工艺气体]





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